Peč PECVD

1. Vrsta: 1200-stopinjski drsni dvoobmočni sistem PECVD
2. Številka faze: Enofazna
3. Tip termoelementa: tip K
4.Model:TOB-DSP-1200 stopnja -PECVD
5.MOQ: 1 komplet

Pošlji povpraševanje

Klepetaj zdaj

Predstavitev izdelka

1200-stopinjski drsni dvoobmočni sistem PECVD

Specifikacija

Model	TOB-DSP-1200 stopnja -PECVD-I	TOB-DSP-1200 stopnja -PECVD-II		TOB-DSP-1200 stopnja -PECVD-III	TOB-DSP-1200 stopnja -PECVD-IV
Moč	3KW	3KW		4KW	4KW
Velikost cevi peči (mm)	Premer 60(OD) X1800 mm	Premer 80(OD) X1800 mm		Premer 100(OD) X1800 mm	Premer 120(OD) X1800 mm
Dimenzija	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Napajalna napetost	220V
Številka faze	Enofazni
Nadzorni način	Yudian nadzor temperature 30 odsekov lahko uporablja samo regulacijo temperature PID. FP93 nadzor temperature (iz Japonske) (Zamenjajte uvožene instrumente, za doplačilo) 1,40 razdelek program nadzora temperature lahko razdelimo na 4,2,1 skupinski program, če je program razdeljen na štiri skupine, vsak programski segment 10, 2,6 skupinski PID nadzor, nizka, srednja in visoka temperatura lahko ima vsak niz PID, tako da je vsak segment sposoben nadzorovati temperaturo zelo natančno.
Način nadzora temperature	Inteligentni PID
Zaščita pred izgorelostjo in zaslon	ja
Zaščita pred previsoko temperaturo	ja
Prenapetostna zaščita	ja
Natančnost nadzora	+/- 1 stopinj
Sprožilec	Sprožilec faznega premika
SCR	106 / 16E Nemčija Simon Kang
Najvišja temperatura temperaturnega območja 1,2	1200 stopinj
Temperaturno območje 1,2 Nazivna temperatura	1150 stopinj
Stopnja ogrevanja	Manj ali enako 30 stopinj/min (na voljo na zahtevo po spremembi)
Priporočena stopnja ogrevanja	Manjši ali enak 15 stopinj/min
Vrsta termoelementa	tip K
Dolžina ogrevanja temperaturnega območja 1,2	205 mm
Temperatura okoliške površine	Manjši ali enak 45 stopinj
Plazemska RF moč	Razpon izhodne moči		0-500W
	Največja odbita moč		10W
	Frekvenca signala		13,56 MHZ ± 0,005 %
	Hrup		<30 dB
	Zračno hlajenje		način hlajenja
	Vhodna moč		208-240V 50/60 HZ
Glavni parametri napajalnega sistema GX	Standardni obseg		Krmilnik pretoka Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (lahko izberete poljubno lestvico)
	Natančnost		± 1.5%
	Padec tlaka		<0.01MPa
	Ponovljivost		± 0.2% F.S
	Maks Delovni tlak		3 MP
VS-0.1 izpušni sistem	napajanje		220V / 380V 380W
	Stopnja črpanja		2L / S
	Vakuumski merilnik upora		ZDR-I
	Območje merjenja vakuuma		0.1-10 5} Pa
	Vakuumska črpalka		VRD-8
	Valovita cev		KF25X1000 mm
	Vakuumski sistem		10 -1Pa